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반도체 설비

동아셈(주)는 반도체, 산업, 환경 설비에 들어가는 부품을 생산하는 전문 기업입니다.

반도체용 진공 챔버 Valve

반도체용 진공 챔버

진공 챔버란 진공 속에서 특수가스를 플라즈마 상태 또는 가열된 증기 상태로 물체 표면에 부착시키는 공정 등에 사용되는 금속제품의 용기입니다. 반도체와 디스플레이 공정 중 건식식각공정, 이온주입, 화학기상증착 (CVD), 금속배선공정에 사용됩니다.

BOE向 B12 Buffer Chamber
반도체 조립크레인
챔버 하우징
검사 장비 프레임
Buffer Chamber
Casing
진공 펌프
TM Chamber